。電阻率是電導(dǎo)率的倒數(shù)。溫度會直接影響到溶液的電導(dǎo)率。250C時，無離子污染物的水的電導(dǎo)率為0.055μS/cm。電阻率或電導(dǎo)率的測定有兩步。電阻池測量電阻率，溫度計測量溫度。這時的電阻率未經(jīng)過溫度補償，為“原始”電阻率。通過軟件和微處理器讀取溫度和未補償?shù)碾娮杪?電導(dǎo)率測量值，然后進(jìn)行溫度補償。溫度低于25oC時，無離子水的電阻率值大于18.2MΩ.cm。溫度高于25oC時，無離子水的電阻率小于18.2MΩ.cm.電阻率隨著溫度的變化而變化很大（非線性）。而電導(dǎo)率隨著溫度的變化較小。